特點 1.MGH系列測量機采用封閉框架結(jié)構(gòu)設(shè)計，是高精度精密型測量機的專用結(jié)構(gòu)。由固定橋和工作臺移動組成，其牢固的機械結(jié)構(gòu)確保了系統(tǒng)具備較大的剛性、的穩(wěn)定性和較小的振動，保證了整個測量空間較高的測量精度  2.軸運動采用中央驅(qū)動，避免了Y向運動中的偏擺，提高了Y軸的運動精度 Y軸導(dǎo)軌采用燕尾槽定位方式，以保證運動時的較大剛性及精度。 三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實效變形能力，鋼性好、動態(tài)幾何誤差變形較小。  3.三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承，運動更平穩(wěn)。光柵的布置接近被測工件，遵循了阿貝誤差原理，減小了系統(tǒng)誤差。驅(qū)動系統(tǒng)采用進口高性能直流伺服電機、進口摩擦桿傳動裝置，確保傳動更快捷、更精準、運動性能更佳。 Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。 性能參數(shù) 測量范圍(mm)X: 600 測量范圍(mm)Y: 800 測量范圍(mm)Z: 600 探測系統(tǒng): PH10T+TP20 靜態(tài)溫度補償系統(tǒng) 分辨率: 0.1μm 示值誤差(μm): 1.5+L/350 探測誤差(μm): 1.8